從特定空間去除顆粒、有害空氣、細菌等空氣污染物，將室溫、清潔度、壓力、風速和氣流分布、噪聲、振動、照明和靜電控制在一定要求范圍內的研究。南寧凈化工程設計的房間，無論外界空氣條件如何變化，都能保持原定要求的潔凈度、溫度、濕度和壓力。

氣流(liu)→初級凈(jing)化→空調→中效凈(jing)化→風(feng)機(ji)送風(feng)→管道→高效凈(jing)化出風(feng)口→機(ji)房→去除灰(hui)塵(chen)和細菌(jun)等顆粒(li)物→回風(feng)百(bai)葉窗→初級凈(jing)化重復上述過程達到凈(jing)化目的.

光微(wei)電子精煉工程精煉參數(shu)

通風(feng)頻(pin)率(lv)：100000級(ji)≥15、10000級(ji)≥20、1000≥30。 壓(ya)差(cha)：相(xiang)鄰(lin)房間的(de)主(zhu)要工(gong)作場所≥5 Pa，平均風(feng)速(su)：10, 100 0.3-0.5 m/s，冬季溫(wen)度> 16°C，夏季<26°C，變化± 2°C。 溫(wen)度45-65%，GMP粉體車間濕度在50%左(zuo)右(you)，電子(zi)車間濕度要稍高，以免產生(sheng)靜電。噪音≤65dB(A)，新風(feng)補充量占總送風(feng)量的(de)10%-30%，照度300LX。

南寧實驗臺在凈化工程設計過程中，應加強對光微電子行業清潔工程設計方案的分析和理解，根據是新建工程還是舊廠改造工程，結合其具體的生產工藝、生產工藝和其他要求決定了對清潔度、溫度和濕度的需求。根據項目的具體情況，同時考慮到制造商的經濟性，應結合各種因素來確定所采用的清洗方案。只有這樣才能設計出符合甲方生產使用要求，工程造價合理的清洗方案。經濟、節能、實用的解決方案。

1.組(zu)合式通風機組(zu)+冷卻器(qi)+高效(xiao)出風口

這是(shi)清潔空調最傳(chuan)統的(de)施工(gong)方案之一(yi)。聯合通風機(ji)組包含各種功能區(qu)(qu)(qu)(qu)，如混合區(qu)(qu)(qu)(qu)、初(chu)級過濾區(qu)(qu)(qu)(qu)、表面(mian)冷卻區(qu)(qu)(qu)(qu)、二次回(hui)風區(qu)(qu)(qu)(qu)（或中間區(qu)(qu)(qu)(qu)）、加熱區(qu)(qu)(qu)(qu)、加濕區(qu)(qu)(qu)(qu)、中效過濾區(qu)(qu)(qu)(qu)、風機(ji)區(qu)(qu)(qu)(qu)等。冷源(yuan)由冷水機(ji)組提(ti)供。

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